שיטות עבודה מומלצות לתחזוקת פלטפורמות גרניט: שיטות להבטחת דיוק לטווח ארוך.

פלטפורמת הגרניט, ככלי עזר למדידה ועיבוד מדויקים, תחזוקת הדיוק שלה משפיעה ישירות על איכות הייצור. להלן תוכנית תחזוקה שיטתית הכוללת בקרת סביבה, תחזוקה יומית וכיול מקצועי על מנת להבטיח שהפלטפורמה תשמור על דיוק ברמת ננומטרי לאורך זמן.
1. בקרת סביבה: בניית מחסום הגנה מדויק
ניהול טמפרטורה ולחות
יש לייצב את טמפרטורת סביבת העבודה על 20±1℃. כל תנודה של 1℃ תגרום לעיוות תרמי של משטח הגרניט בקצב של 0.5-1μm/m. ניתן להתקין מערכת טמפרטורה קבועה בסדנה כדי למנוע כניסות מיזוג האוויר לנשוף ישירות על המשטח.
יש לשלוט על הלחות בין 40% ל-60%. לחות מוגזמת עלולה לגרום בקלות לחלודה על חלקי מתכת, בעוד שלחות נמוכה מדי עלולה להוביל להפרעות חשמל סטטי במדידה.
בידוד רעידות
יש להרחיק את הפלטפורמה ממקורות רטט כגון מכונות הטבעה ומכונות כרסום. מומלץ לשמור על מרחק של יותר מ-3 מטרים מציוד רטט.
אם לא ניתן להימנע מרעידות, ניתן להתקין בולמי זעזועים מקפיצי אוויר בתחתית הפלטפורמה כדי להפחית את השפעת הרעידות הסביבתיות על שטוחות הפלטפורמה (מה שיכול להפחית את הרעידות החיצוניות ביותר מ-80%).
2. תחזוקה יומית: בקרה קפדנית מניקוי ועד הגנה
מפרט ניקוי משטחים
הסרת אבק: נגבו את המשטח עם עור צבי או מטלית נטולת סיבים באותו כיוון בכל יום כדי למנוע מחלקיקי אבק (≥5 מיקרומטר) לשרוט את הפלטפורמה. ניתן לנגב בעדינות כתמים עקשניים עם אתנול נטול מים (טוהר ≥99.7%). אין להשתמש בממסים חזקים כגון אצטון.
הסרת שומנים: אם המכשיר בא במגע עם כתמי שמן, יש לנגב אותו עם חומר ניקוי ניטרלי מדולל, לאחר מכן לשטוף במים מזוקקים ולייבש באוויר כדי למנוע חדירת שמן מינרלי לנקבוביות הזעירות של הפלטפורמה.
הגנה מפני עומס והתנגשויות
יש לשלוט על כושר נשיאת העומס של הפלטפורמה בטווח של 70% מהעומס המדורג (לדוגמה, עבור פלטפורמה של 1000 ק"ג, מומלץ שהעומס יהיה ≤700 ק"ג) כדי למנוע עיוות קבוע הנגרם כתוצאה מעומס יתר מקומי.
אסור בהחלט להכות בחלקי עבודה על גבי הפלטפורמה. בעת טיפול בכלים, יש ללבוש כפפות רכות כדי למנוע מחפצים חדים לשרוט את המשטח (שריטות בעומק גדול מ-20 מיקרומטר ישפיעו על מדידת נתיב האור המוחזר).
3. כיול מקצועי: הליבה של שמירה מדעית על דיוק
הגדרת מחזור כיול
תרחישי שימוש קונבנציונליים: יש לכייל פעם ברבעון ולהשתמש באינטרפרומטר לייזר כדי לזהות שטוחות (בדיוק של ±0.5 מיקרומטר/מטר).
שימוש בתדירות גבוהה או סביבות קשות: כיול חודשי, תוך התמקדות בניטור אזורים רגישים לטמפרטורה (כגון קצה הפלטפורמה ליד מקורות חום).

עיבוד לאחר כיול
אם נמצאה סטייה בשטיחות (כגון > ±1μm/m), יש ללטש ולתקן אותה על ידי טכנאי מקצועי באמצעות מיקרו-אבקה W1.5. ללטש עצמי בעזרת נייר זכוכית אסור בהחלט.
לאחר הכיול, יש לתעד ולאחסן נתונים, ויש לקבוע עקומת הנחתה של דיוק הפלטפורמה כדי לחזות מראש את דרישות התחזוקה.
4. אחסון והובלה: הימנעו מאובדן דיוק נסתר
נקודות מפתח לאחסון לטווח ארוך
בעת האחסון, יש לכסות את הפלטפורמה בכיסוי עמיד בפני לחות ואבק. יש לתמוך בתחתית הפלטפורמה בשלוש נקודות (נקודת התמיכה ממוקמת ב-2/9 מאורך הפלטפורמה) כדי למנוע עיוות כיפוף הנגרם על ידי כוח הכבידה (פלטפורמה באורך מטר אחד עלולה לשקוע ב-0.3 מיקרון עקב תמיכה ארוכת טווח בנקודה אחת).
הזז את מיקום נקודות התמיכה של הפלטפורמה באופן קבוע (חודשי) כדי למנוע לחץ מקומי לטווח ארוך.
תוכנית הגנה על התחבורה
הובלה למרחקים קצרים: עטפו בקצף סופג זעזועים, קבעו בתוך מסגרת קשיחה, ושמרו על התאוצה בטווח של 2 גרם.
הובלה למרחקים ארוכים: יש לארוז אותו בוואקום ולמלא אותו בחנקן יבש. לאחר ההגעה, יש להשאירו למשך 24 שעות עד שהטמפרטורה תגיע לאיזון לפני הוצאת המוצר מהאריזה, כדי למנוע פגיעה ברמת הדיוק עקב מי עיבוי.
5. חיזוי תקלות: טכניקות לזיהוי בעיות מוקדמות
בדיקה ויזואלית: יש להתבונן באופן קבוע במשטח בעזרת זכוכית מגדלת פי 40. אם מתגלים שריטות רציפות או ירידה משמעותית בברק, הדבר עשוי להצביע על ירידה בדיוק.
זיהוי צלילים: הקישו בעדינות על הפלטפורמה. אם הצליל הופך צרוד (בדרך כלל זה אמור להיות צליל צלול), ייתכנו סדקים זעירים בפנים. הפסיקו את השימוש בו מיד לצורך זיהוי.

באמצעות מערכת תחזוקה זו, פלטפורמת הגרניט ZHHIMG® יכולה לשמור על שטוחות של ±1 מיקרומטר/מטר למשך 10 שנים, זמן ארוך פי שלושה יותר מאורך החיים המדויק של פלטפורמות שאינן מתוחזקות כראוי. הניסיון הוכיח כי לאחר שמפעל מסוים לייצור מוליכים למחצה אימץ פתרון זה, תדירות כיול הפלטפורמה פחתה ב-50%, ועלות התחזוקה השנתית נחסכה ביותר מ-150,000 יואן.