פענח את "כוח הסלע" שמאחורי ייצור מוליכים למחצה - כיצד רכיבי גרניט מדויקים יכולים לעצב מחדש את גבולות הדיוק של ייצור שבבים

מהפכת הדיוק בייצור מוליכים למחצה: כאשר גרניט פוגש טכנולוגיית מיקרון
1.1 תגליות בלתי צפויות במדעי החומרים
על פי דו"ח איגוד המוליכים למחצה הבינלאומי SEMI לשנת 2023, 63% מהמפעלים המתקדמים בעולם החלו להשתמש בבסיסי גרניט במקום בפלטפורמות מתכת מסורתיות. אבן טבעית זו, שמקורה בעיבוי מאגמה עמוק בכדור הארץ, כותבת מחדש את ההיסטוריה של ייצור המוליכים למחצה בזכות תכונותיה הפיזיקליות הייחודיות:

יתרון אינרציה תרמית: מקדם ההתפשטות התרמית של גרניט 4.5×10⁻⁶/℃ הוא רק 1/5 מזה של נירוסטה, ויציבות ממדית של ±0.001 מ"מ נשמרת בעבודה רציפה של מכונת הליתוגרפיה.

מאפייני ריסון רעידות: מקדם החיכוך הפנימי גבוה פי 15 מזה של ברזל יצוק, וסופג ביעילות מיקרו-רעידות של הציוד.

אפס אופי מגנטיזציה: ביטול מוחלט של השגיאה המגנטית במדידת לייזר

1.2 מסע המטמורפוזה ממכרה למפעל
אם ניקח לדוגמה את בסיס הייצור החכם של ZHHIMG בשאנדונג, חתיכת גרניט גולמי צריכה לעבור:

עיבוד שבבי מדויק במיוחד: מרכז עיבוד שבבי בעל חמישה צירים ל-200 שעות של כרסום רציף, חספוס פני השטח עד Ra0.008μm

טיפול הזדקנות מלאכותי: 48 שעות של שחרור מתחים טבעי בסדנה עם טמפרטורה ולחות קבועים, מה שמשפר את יציבות המוצר ב-40%
שנית, פיצוח שש בעיות הדיוק של ייצור מוליכים למחצה "פתרון סלע"
2.1 תוכנית להפחתת קצב פירוק פרוסות

הדגמת מקרה: לאחר שבית יציקה לשבבים בגרמניה אימץ את פלטפורמת הגרניט הצפה שלנו המופעלת על גז:

קוטר פרוסה	הפחתת קצב השבבים	שיפור שטוחות
12 אינץ'	67%	≤0.001 מ"מ
18 אינץ'	82%	≤0.0005 מ"מ

2.2 תוכנית פריצת דרך של דיוק יישור ליטוגרפי

מערכת פיצוי טמפרטורה: חיישן קרמי משובץ מנטר את משתנה הצורה בזמן אמת ומתאים אוטומטית את נטיית הפלטפורמה
נתונים שנמדדו: תחת תנודות של 28℃±5℃, דיוק ההטמעה משתנה בפחות מ-0.12μm