שיטות גילוי לשטיחות של פלטפורמות גרניט מדויקות.

בתחומי הייצור המדויק והמחקר המדעי, השטיחות של פלטפורמות גרניט מדויקות היא מדד מפתח להבטחת דיוק הציוד. להלן מבוא מפורט למספר שיטות גילוי נפוצות ונהלי הפעולה שלהן.
א. שיטת גילוי אינטרפרומטר לייזר
אינטרפרומטר לייזר הוא הכלי המועדף לגילוי שטוחות בדיוק גבוה. קחו לדוגמה את אינטרפרומטר הלייזר ZYGO GPI XP, הרזולוציה שלו יכולה להגיע ל-0.1 ננומטר. בעת ביצוע הגילוי, יש ליישר תחילה את מקור האור של האינטרפרומטר עם הפלטפורמה ולחלק את פני הפלטפורמה לאזורי רשת של 50 מ"מ × 50 מ"מ. לאחר מכן, נתוני שוליים של ההפרעות נאספו נקודה אחר נקודה, והנתונים הותאמו ונותחו באמצעות פולינום זרניקה כדי לקבל את שגיאת השטיחות. שיטה זו ישימה לפלטפורמות בדיוק גבוה ויכולה לזהות שגיאות שטוחות של ≤0.5 מיקרומטר/מ"ר. היא משמשת בדרך כלל בגילוי מכונות פוטוליתוגרפיה ופלטפורמות מתקדמות של מכונות מדידה בעלות שלוש קואורדינטות.
II. שיטת מערך פלסים אלקטרוני
מערך הגילוי האלקטרוני של המפלס פשוט לתפעול ויעיל ביותר. המפלס האלקטרוני TESA A2 (ברזולוציה של 0.01 מיקרומטר/מטר) נבחר וסודר במערך 9×9 לאורך כיוון ציר X/Y של הפלטפורמה. על ידי איסוף סינכרוני של נתוני הנטייה של כל מפלס ולאחר מכן שימוש בשיטת הריבועים הפחותים לחישוב, ניתן לקבל במדויק את ערך השטיחות. שיטה זו יכולה לזהות ביעילות את תנאי הקעירות והקימור המקומיים של הפלטפורמה. לדוגמה, ניתן גם לזהות תנודה של 0.2 מיקרומטר בטווח של 50 מ"מ, דבר המתאים לגילוי מהיר בייצור המוני.
ג. שיטת גביש שטוח אופטי
שיטת הגביש השטוח האופטי מתאימה לגילוי פלטפורמות בעלות שטח קטן. חברו את הגביש השטוח האופטי בחוזקה למשטח המיועד לבדיקה על הפלטפורמה וצפו בשולי ההפרעות הנוצרים ביניהם תחת תאורת מקור אור מונוכרומטי (כגון מנורת נתרן). אם הפסים הם פסים ישרים מקבילים, הדבר מצביע על שטוחות טובה. אם מופיעים פסים מעוקלים, חשבו את שגיאת השטיחות בהתבסס על מידת עקמומיות הפס. כל פס מעוקל מייצג הפרש גובה של 0.316 מיקרומטר, וניתן לקבל את נתוני השטיחות באמצעות המרה פשוטה.
ארבע. שיטת בדיקה של מכונת מדידה בעלת שלוש קואורדינטות
מכונת המדידה בעלת שלוש הקואורדינטות יכולה להשיג מדידה מדויקת ביותר במרחב תלת-ממדי. הניחו את משטח הגרניט על שולחן העבודה של מכונת המדידה והשתמשו בגשוש כדי לאסוף נתונים באופן אחיד מנקודות מדידה מרובות על פני המשטח של המשטח. מערכת מכונת המדידה מעבדת ומנתחת נתונים אלה כדי ליצור דוח שטוחות של המשטח. שיטה זו יכולה לא רק לזהות שטוחות, אלא גם לקבל פרמטרים גיאומטריים אחרים של המשטח בו זמנית, והיא מתאימה לגילוי מקיף של משטחי גרניט גדולים.
שליטה בשיטות גילוי אלו יכולה לעזור לך להעריך במדויק את השטיחות של פלטפורמת הגרניט המדויקת ולספק ערובה אמינה לפעולה יציבה של ציוד מדויק.