רכיבי גרניט מסייעים לפלטפורמת תנועת גנטרי מדויקת של XYZT להבטיח דיוק בייצור מוליכים למחצה.

בסדנת ייצור מוליכים למחצה, הדרישות של תהליך ייצור השבבים לתנאי סביבה ודיוק הציוד הן קיצוניות, וכל סטייה קלה עלולה להוביל לירידה משמעותית בתפוקת השבב. פלטפורמת תנועת הגנטרי המדויקת XYZT מסתמכת על רכיבי גרניט כדי לשתף פעולה עם חלקים אחרים של הפלטפורמה כדי לבנות בסיס איתן להשגת דיוק בקנה מידה ננומטרי.
תכונות חסימת רעידות מצוינות
בסדנת ייצור מוליכים למחצה, פעולת ציוד היקפי וצוות המסתובב עלולים לגרום לרעידות. המבנה הפנימי של רכיבי הגרניט צפוף ואחיד, עם מאפייני ריסון טבעיים גבוהים, כמו "מחסום" רטט יעיל. כאשר הרעידות החיצוניות מועברות לפלטפורמת XYZT, רכיב הגרניט יכול להחליש ביעילות יותר מ-80% מאנרגיית הרעידות ולהפחית את ההפרעה של הרעידות לדיוק תנועת הפלטפורמה. במקביל, הפלטפורמה מצוידת במערכת הנחיית ציפה אווירית מדויקת במיוחד, הפועלת בשיתוף פעולה עם רכיבי הגרניט. הנחיית ציפה האווירית משתמשת בסרט גז יציב שנוצר על ידי גז בלחץ גבוה כדי לממש את תנועת המתלה ללא מגע של החלקים הנעים של הפלטפורמה ולהפחית את הרעידות הקטנות הנגרמות על ידי חיכוך מכני. יחד, השניים מבטיחים שדיוק מיקום הפלטפורמה יישמר תמיד ברמה ננומטרית בתהליכים מרכזיים כמו ליתוגרפיה של שבבים וחריטה, ומונעים סטייה של דפוסי מעגל שבבים הנגרמת על ידי רעידות.
יציבות תרמית מעולה
לתנודות הטמפרטורה והלחות בסדנה יש השפעה רבה על דיוק ציוד ייצור השבבים. מקדם ההתפשטות התרמית של גרניט נמוך מאוד, בדרך כלל ב-5-7 ×10⁻⁶/℃, הגודל כמעט ולא משתנה כאשר הטמפרטורה משתנה. גם אם הפרש הטמפרטורה בין יום ללילה בסדנה או ייצור החום של הציוד גורם לתנודות בטמפרטורת הסביבה, רכיבי הגרניט יכולים להישאר יציבים כדי למנוע עיוות של הפלטפורמה עקב התפשטות והתכווצות תרמית. במקביל, מערכת בקרת הטמפרטורה החכמה המצוידת בפלטפורמה מנטרת את טמפרטורת הסביבה בזמן אמת, מתאימה אוטומטית את ציוד המיזוג ופיזור החום ושומרת על טמפרטורת הסדנה על 20°C ±1°C. בשילוב עם היתרונות של יציבות חום הגרניט, מבטיחים שהפלטפורמה בפעולה ארוכת טווח, דיוק התנועה של כל ציר תמיד עומד בתקני הדיוק הננומטרי של ייצור השבבים, כדי להבטיח שגודל דפוס הליתוגרפיה של השבב מדויק ועומק החריטה אחיד.
לענות על צרכי סביבה נקייה
סדנת ייצור המוליכים למחצה צריכה לשמור על רמת ניקיון גבוהה כדי למנוע מחלקיקי אבק לזהם את השבב. חומר הגרניט עצמו אינו מייצר אבק, והמשטח חלק, ואינו סופג אבק בקלות. הפלטפורמה כולה מאמצת עיצוב מבנה סגור לחלוטין או סגור למחצה כדי להפחית את כניסת האבק החיצוני. מערכת זרימת האוויר הפנימית מקושרת למערכת מיזוג האוויר הנקי של הסדנה כדי להבטיח שניקיון האוויר הפנימי יגיע לרמה הנדרשת לייצור השבבים. בסביבה נקייה זו, רכיבי הגרניט לא ישפיעו על הביצועים עקב סחף אבק, ורכיבים מרכזיים כמו חיישנים ומנועים בעלי דיוק גבוה של הפלטפורמה יכולים גם הם לפעול ביציבות, לספק ערובה רציפה ואמינה לדיוק ננומטרי לייצור שבבים, ולעזור לתעשיית המוליכים למחצה לעבור לרמת תהליך גבוהה יותר.