כיצד משפיע בסיס הגרניט על דיוק הבדיקות הלא הורסות של ופלים?

​
​
בעולם המדויק של ייצור מוליכים למחצה, בדיקות בלתי הורסות של פרוסות סיליקון הן חוליה מרכזית להבטחת איכות השבבים. בסיס הגרניט, שלכאורה חסר משמעות, הוא למעשה "הגיבור האלמוני" שקובע את דיוק הגילוי. כיצד לעזאזל זה משפיע על תוצאות הבדיקה? מאמר זה יבצע ניתוח מעמיק מממדים כמו תכונות חומר ותכנון מבני.
1. יסוד יציב: היתרונות הטבעיים של גרניט מניחים בסיס איתן לדיוק
1. ביצועים סייסמיים מצוינים
במהלך הפעלת ציוד הבדיקה הבלתי הורסית של פרוסות סיליקון, סיבוב המנוע ותנועת הרכיבים המכניים ייצרו תנודות. אם תנודות אלו לא מדכאות ביעילות, הן יפריעו קשות לדיוק הבדיקה. פנים הגרניט שזור היטב בגבישים מינרליים כמו קוורץ ופלדספאר. המבנה הייחודי שלו מעניק לו יכולת ספיגת תנודות טבעית, המסוגלת לספוג מעל 90% מאנרגיית התנודות של הציוד. נתוני המדידה בפועל של יצרן מוליכים למחצה מסוים מראים כי לאחר השימוש בבסיס גרניט, משרעת התנודה של ציוד הגילוי הופחתה מ-12 מיקרומטר ל-2 מיקרומטר, ובכך נמנעה ביעילות סטייה של אות הגילוי הנגרמת על ידי תנודות.
2. מקדם התפשטות תרמית נמוך במיוחד
במהלך תהליך הגילוי, גורמים כמו חימום הציוד ושינויים בטמפרטורת הסביבה ישפיעו על יציבות בסיס המכונה. חומרים רגילים מתרחבים משמעותית בעת חימום, אך מקדם ההתפשטות התרמית של גרניט הוא רק 1/5 מזה של פלדה. גם אם טמפרטורת הסביבה משתנה ב-10 מעלות צלזיוס, ניתן להתעלם מעיוותה. זה מאפשר לבסיס הגרניט לספק פלטפורמת ייחוס יציבה לציוד הבדיקה, תוך הבטחה שהמיקום היחסי בין גלאי הבדיקה לפרוסת הבדיקה יישאר מדויק בכל עת ונמנעות מטעויות בדיקה הנגרמות מעיוות תרמי.
שנית, תכנון מדויק: אופטימיזציה מבנית משפרת עוד יותר את אמינות הגילוי
עיבוד מדויק ויישור מובטח
בסיס הגרניט האיכותי מעובד בטכנולוגיית CNC מתקדמת בעלת קישוריות חמישה צירים, עם שטוחות של ±0.5 מיקרומטר/מטר, המספקת ייחוס התקנה שטוח במיוחד לציוד בדיקה. בבדיקת פרוסות סיליקון, האנכיות והמישור של גלאי הבדיקה הם קריטיים לתוצאות הבדיקה. בסיס גרניט מדויק יכול להבטיח את המיקום המדויק של גלאי הבדיקה, מה שהופך את נתוני הבדיקה למדויקים ואמינים יותר.
2. התאמה מבנית מותאמת אישית
ניתן להתאים אישית בסיסי מכונות גרניט לציוד בדיקה לא הורסת של פרוסות ופלים שונים ולדרישות תהליכים שונות. לדוגמה, כדי לעמוד בדרישות של ציוד בדיקה אופטי להחזרת אור, ניתן לטפל במיוחד בפני השטח של בסיס המכונה; כדי לעמוד בדרישות ההתקנה של ציוד בדיקה אולטרסאונד, ניתן לבנות את הבסיס מראש עם חורי התקנה מדויקים ומגשי כבלים, מה שמאפשר התקנה מהירה ומדויקת של הציוד ומפחית סטיות גילוי הנגרמות משגיאות התקנה.
ג. יציבות לטווח ארוך: הפחתת אובדן דיוק הנגרם כתוצאה מתחזוקת ציוד
לגרניט קשיות גבוהה ועמידות חזקה בפני שחיקה, עם קשיות מוס של 6 עד 7, שהיא פי שלושה מעמידות הבלאי של פלדה רגילה. במהלך פעולות בדיקה ארוכות טווח, פני השטח של בסיס המכונה אינם נוטים לבלאי ויכולים תמיד לשמור על מצב דיוק טוב. לעומת זאת, בסיסים העשויים מחומרים אחרים עלולים לגרום לשינויים בהתייחסות ההתקנה של הציוד עקב בלאי, ובכך להשפיע על דיוק הגילוי ולדרוש כיול ותחזוקה תכופים. חיי השירות הארוכים והיציבות הגבוהה של בסיס הגרניט מפחיתים ביעילות את תדירות תחזוקת הציוד ומורידים את הסיכון לאובדן דיוק שעלול להתרחש במהלך תהליך התחזוקה.
מעמידות בפני זעזועים, עמידות בחום ועד לתכנון מדויק, כל מאפיין של בסיס הגרניט שומר על דיוק הבדיקות הלא הורסות של פרוסות סיליקון. בעידן ייצור המוליכים למחצה של ימינו, השואף לדיוק אולטימטיבי, בחירת בסיס גרניט איכותי היא כמו הוספת שכבת ביטוח איתנה לדיוק ולאמינות של תוצאות הבדיקה.