בתחום ייצור המוליכים למחצה, דיוק תת-מיקרון הוא המפתח להבטחת ביצועי השבב, ובסיס הגרניט (ZHHIMG®), עם תכונות החומר שלו, עיבוד מדויק ועיצוב חדשני, הפך לערובה המרכזית להשגת דיוק זה.
מנקודת מבט של תכונות החומר, לגרניט השחור שנבחר על ידי ZHHIMG® יש צפיפות של כ-3100 ק"ג/מ"ק, עם מבנה פנימי צפוף. צפיפות גבוהה זו מקנה לו יציבות וקשיחות יוצאות דופן. במהלך הפעלת ציוד מוליך למחצה, סיבוב המנועים ותנועת הרכיבים המכניים בתוך הציוד ייצרו רעידות. בסיס הגרניט יכול לספוג ביעילות מעל 90% מאנרגיית הרעידות, ובכך להפחית משמעותית את השפעת הרעידות על דיוק הציוד. בינתיים, מקדם ההתפשטות התרמית הנמוך ביותר שלו מאפשר לו לשמור על עיוות בטווח קטן מאוד כאשר טמפרטורת הסביבה משתנה, ומספק בסיס תמיכה יציב לציוד מוליך למחצה ומניעת תזוזה של רכיבי הציוד עקב שינויי טמפרטורה, דבר שעלול להשפיע על הדיוק.
מבחינת עיבוד וייצור, מפעל ZHHIMG® מאמץ ציוד עיבוד מתקדם בינלאומי ויש לו ארבע מכונות השחזה גדולות במיוחד (כל מכונה עולה מעל 500,000 דולר), שיכולות לבצע השחזה בדיוק גבוה על גרניט. באמצעות עיבוד שבבי CNC בעל חמישה צירים ותהליכים אחרים, שטוחות בסיס המכונה יכולה להגיע לרמת ננומטר, מה שמספק משטח ייחוס שטוח במיוחד להתקנת ציוד מוליך למחצה ומבטיח מיקום מדויק של כל רכיב בציוד. יתר על כן, סדנת הטמפרטורה והלחות הקבועות (המכסה שטח של 10,000 מ"ר) מספקת סביבה יציבה לעיבוד. תעלות נוגדות רעידות ברוחב 500 מ"מ ובעומק 2000 מ"מ סביבה, כמו גם העגורנים השקטים, מבודדים ביעילות הפרעות רעידות חיצוניות ומבטיחים את דיוק העיבוד של בסיס המכונה.
בנוסף, ל-ZHHIMG® יש גם יכולת התאמה אישית חזקה. עבור הדרישות המיוחדות של ציוד מוליכים למחצה, ניתן לבנות מראש חורי התקנה מדויקים ומגשי כבלים כדי להשיג תאימות מושלמת בין הציוד לבסיס. במקביל, בשילוב עם ציוד מטרולוגיה ובדיקה ברמה עולמית כגון מד הדקות הגרמני Mahr (עם דיוק של 0.5 מיקרון) ופלס אלקטרוני WYLER השוויצרי, בסיס המכונה עובר בדיקה וכיול קפדניים על מנת להבטיח שכל בסיס מכונה יעמוד בדרישות המחמירות של ציוד מוליכים למחצה לדיוק ברמה תת-מיקרון.
דווקא שילוב של יתרונות אלה הוא שהופך את בסיס הגרניט ZHHIMG® לבחירה אמינה להשגת דיוק תת-מיקרון בציוד מוליכים למחצה, ובכך מסייע לייצור מוליכים למחצה להתקדם לתחומים בעלי דיוק גבוה יותר.
זמן פרסום: 18 ביוני 2025