כיצד פלטפורמת התנועה בידוד הרטט האקטיבית של XYT שומרת על דיוק גבוה?

יישום בסיס גרניט: לגרניט תכונות פיזיקליות יציבות ביותר, מבנה פנימי צפוף ואחיד, מקדם התפשטות תרמית נמוך, וקשיחות גבוהה. זה מאפשר לבסיס לבודד ביעילות רעידות חיצוניות, להפחית את השפעת שינויי טמפרטורת הסביבה על דיוק הפלטפורמה, ובעל עמידות טובה בפני שחיקה. שימוש ארוך טווח יכול גם לשמור על ביצועי תמיכה יציבים, ולספק בסיס איתן לדיוק הפלטפורמה.

תכנון מבנה מכני בדיוק גבוה: המבנה המכני של הפלטפורמה תוכנן ואופטימלי בקפידה, תוך שימוש במסילות הנחיה, ברגי מוביל, מיסבים ורכיבי תמסורת אחרים בדיוק גבוה. עם חיכוך נמוך, קשיחות גבוהה וחזרה טובה על התנועה, רכיבים אלה יכולים להעביר במדויק כוח ולשלוט בתנועת הפלטפורמה, ובכך להפחית את הצטברות השגיאות במהלך התנועה. לדוגמה, השימוש במסילת הנחיה אירוסטטית, שימוש בסרט אוויר לתמיכה בתנועת הפלטפורמה, ללא חיכוך, ללא שחיקה, דיוק גבוה, יכול להשיג דיוק מיקום בקנה מידה ננומטרי.
טכנולוגיית בידוד רעידות אקטיבית מתקדמת: מצוידת במערכת בידוד רעידות אקטיבית, ניטור בזמן אמת של מצב הרטט של הפלטפורמה באמצעות חיישן, ולאחר מכן, בהתאם לתוצאות הניטור, בקרת משוב של המפעיל, ויצירת כוח או תנועה הפוכים של רעידות חיצוניות כדי לקזז את השפעת הרטט. טכנולוגיית בידוד רעידות אקטיבית זו יכולה לבודד ביעילות רעידות בתדר נמוך וגבוה, כך שהפלטפורמה יכולה להישאר יציבה בסביבת רעידות מורכבת. לדוגמה, לבידוד רעידות אקטיבי אלקטרומגנטי יש יתרונות של מהירות תגובה מהירה וכוח בקרה מדויק, שיכולים להפחית את משרעת הרטט של הפלטפורמה ביותר מ-80%.
מערכת בקרה מדויקת: הפלטפורמה מאמצת מערכת בקרה מתקדמת, כגון מערכת בקרה המבוססת על מעבד אותות דיגיטלי (DSP) או מערך שערים הניתן לתכנות בשטח (FPGA), בעלת יכולת חישוב במהירות גבוהה ובקרה מדויקת. מערכת הבקרה מנטרת ומתאימה את תנועת הפלטפורמה בזמן אמת באמצעות אלגוריתמים מדויקים, ומממשת בקרת מיקום, בקרת מהירות ובקרת תאוצה ברמת דיוק גבוהה. במקביל, למערכת הבקרה יש גם יכולת טובה נגד הפרעות, והיא יכולה לעבוד ביציבות בסביבה אלקטרומגנטית מורכבת.

מדידת חיישנים מדויקת: שימוש בחיישני תזוזה מדויקים, חיישני זווית וציוד מדידה אחר למדידה מדויקת בזמן אמת של תנועת הפלטפורמה. חיישנים אלה מזינים את נתוני המדידה בחזרה למערכת הבקרה, ומערכת הבקרה מבצעת כוונון ופיצוי מדויקים בהתאם לנתוני המשוב כדי להבטיח את דיוק התנועה של הפלטפורמה. לדוגמה, אינטרפרומטר לייזר משמש כחיישן תזוזה, ודיוק המדידה שלו יכול להגיע עד ננומטר, מה שיכול לספק מידע מיקום מדויק לבקרה מדויקת של הפלטפורמה.
טכנולוגיית פיצוי שגיאות: על ידי מידול וניתוח שגיאות הפלטפורמה, טכנולוגיית פיצוי שגיאות משמשת לתיקון השגיאות. לדוגמה, שגיאת הישר של מסילת ההובלה ושגיאת הגובה של בורג ההובלה נמדדות ומפוצות כדי לשפר את דיוק התנועה של הפלטפורמה. בנוסף, ניתן להשתמש גם באלגוריתמי תוכנה כדי לפצות על שגיאות הנגרמות משינויי טמפרטורה, שינויי עומס וגורמים אחרים בזמן אמת כדי לשפר עוד יותר את דיוק הפלטפורמה.
תהליך ייצור קפדני ובקרת איכות: בתהליך הייצור של הפלטפורמה, מאומצים סטנדרטים קפדניים של תהליך ייצור ובקרת איכות כדי להבטיח את דיוק העיבוד ואיכות ההרכבה של כל רכיב. החל מבחירת חומרי הגלם ועד לעיבוד, הרכבה והפעלה של החלקים, כל חוליה נבדקת ונבדקת בקפדנות כדי להבטיח את הדיוק והביצועים הכוללים של הפלטפורמה. לדוגמה, מתבצע עיבוד שבבי בדיוק גבוה של חלקים מרכזיים, וציוד מתקדם כגון מרכזי עיבוד שבבי CNC משמשים כדי להבטיח שדיוק הממדים וסבולות הצורה והמיקום של החלקים עומדים בדרישות התכנון.