כיצד משמש בסיס הגרניט המדויק בפלטפורמת ציפה אווירית בלחץ סטטי מדויק כדי להשיג דיוק גבוה?

בעיקר דרך הקישורים המרכזיים הבאים:
• בחירת חומרים איכותיים: כדי לייצר בסיס גרניט מדויק בדיוק גבוה, עלינו לבחור תחילה חומרי גרניט בעלי מרקם אחיד ומבנה צפוף. חלקיקי המינרלים של גרניט מסוג זה הם דקים ומפוזרים באופן שווה, בעלי קשיות וחוזק גבוהים, שיכולים לספק תנאים בסיסיים טובים להשגת שטוחות מדויקת גבוהה. לדוגמה, ג'ינאן גרין, טאישאן גרין וזני גרניט איכותיים אחרים, בשל תכונותיהם הפיזיקליות היציבות ותכונות העיבוד הטובות שלהם, משמשים לעתים קרובות לייצור בסיסים מדויקים.

• יציקה מחוספסת: שימוש בציוד חיתוך גדול לחיתוך חומרי גלם מגרניט לחלקים קרובים לגודל הסופי של הבסיס, תוך השארת מרווח לעיבוד עדין נוסף. בשלב זה, כלי חיתוך כגון להבי מסור יהלום משמשים לשליטה על מהירות החיתוך, קצב ההזנה ונתיב החיתוך באמצעות תכנות CNC מדויק על מנת להבטיח את השטיחות והאנכיות של משטח החיתוך, ושגיאת השטיחות נשלטת בטווח מסוים על מנת לספק בילטים סדירים יותר לעיבוד נוסף.
• ליטוש עדין: יש לטחון דק את בסיס הגרניט לאחר עיבוד גס, וזהו תהליך מפתח להשגת שטוחות מדויקת. בדרך כלל משתמשים במכונות ליטוש המצוידות בגלגלי ליטוש או דיסקיות ליטוש בגדלים שונים, והליטוש מתבצע שלב אחר שלב מגרגר גס לגרגר דק. ראשית, משתמשים בחומר שוחקים גס כדי להסיר במהירות את רוב שאריות העיבוד ולשפר בתחילה את השטיחות; לאחר מכן, עוברים לחומר ליטוש עדין יותר לטחינה עדינה, מה שמפחית עוד יותר את חספוס פני השטח ומשפר את דיוק השטיחות. במהלך תהליך הליטוש, השטיחות של פני השטח של בסיס הגרניט משתפרת באופן מתמיד על ידי שליטה מדויקת בלחץ הטחינה, מהירות הטחינה וזמן הטחינה, וכן באמצעות תהליכי ליטוש מתקדמים, כגון ליטוש פלנטרי וליטוש דו-צדדי.

• מדידה ומשוב בדיוק גבוה: בתהליך העיבוד, יש צורך להשתמש במכשירי מדידה בדיוק גבוה כדי למדוד ולנטר את השטיחות של בסיס הגרניט בזמן אמת. מכשירי מדידה נפוצים הם אינטרפרומטר לייזר, פלס אלקטרוני, מכשיר מדידת קואורדינטות וכן הלאה. אינטרפרומטר הלייזר משתמש בעיקרון הפרעות האור כדי למדוד במדויק את השטיחות של מישור על ידי פליטת קרן לייזר, בדיוק של עד ננומטר. מכשיר המדידה מזין את נתוני המדידה בחזרה למערכת הבקרה של ציוד העיבוד, ומערכת הבקרה מתאימה אוטומטית את פרמטרי העיבוד בהתאם לנתוני המשוב, כגון מיקום השחזה, לחץ וכו', ומתקנת את שגיאת השטיחות כדי להשיג בקרת לולאה סגורה ולהבטיח שהשטיחות מתקרבת כל הזמן לדרישות התכנון.
• טיפול פני השטח וליטוש: לאחר השחזה, יש ללטש את פני השטח של בסיס הגרניט כדי לשפר עוד יותר את איכות פני השטח ואת השטיחות. תהליך הליטוש משתמש בגלגל הליטוש ובנוזל הליטוש כדי להסיר את הפגמים המיקרוסקופיים על פני השטח באמצעות פעולה כימית ומכנית, מה שהופך את פני השטח לחלקים ושטוחים יותר, ומשיג את דרישות השטיחות הסופיות בעלות דיוק גבוה. במקביל, טכנולוגיות ליטוש מתקדמות, כגון ליטוש אלומת יונים, ליטוש מגנטוראולוגי וכו', מיושמות גם בעיבוד בסיס גרניט מדויק, מה שיכול להשיג ליטוש פני שטח מדויק יותר ולענות על צרכי עיבוד שבבי מדויק במיוחד.