כיצד לבדוק את הדיוק של פלטפורמת גרניט מדויקת? לוודא שהדיוק הוא סטנדרטי?

בתחומים כמו ייצור מוליכים למחצה ומכשירי מדידה מדויקים, הדיוק של פלטפורמות גרניט מדויקות קובע ישירות את איכות התפעול של הציוד. כדי להבטיח שדיוק הפלטפורמה יעמוד בתקנים, יש להשקיע מאמצים בשני היבטים: זיהוי אינדיקטורים מרכזיים ועמידה בתקנים סטנדרטיים.

גילוי מחוון ליבה: בקרה רב-ממדית של דיוק
גילוי שטוחות: קביעת "השטוחות" של מישור הייחוס
שטוחות היא המדד המרכזי של פלטפורמות גרניט מדויקות, והיא נמדדת בדרך כלל באמצעות אינטרפרומטרים בלייזר או פלסים אלקטרוניים. אינטרפרומטר הלייזר יכול למדוד במדויק את הגליות הזעירות על פני הפלטפורמה על ידי פליטת קרן לייזר ושימוש בעיקרון הפרעות האור, עם דיוק המגיע לרמה תת-מיקרון. הפלס האלקטרוני מודד על ידי תנועה מספר פעמים ומצייר מפת קווי מתאר תלת-ממדית של פני הפלטפורמה כדי לזהות אם יש בליטות או שקעים מקומיים. לדוגמה, פלטפורמות הגרניט המשמשות במכונות פוטוליתוגרפיה מוליכים למחצה נדרשות להיות בעלות שטוחות של ±0.5 מיקרומטר/מטר, כלומר הפרש הגובה באורך של מטר אחד לא יעלה על חצי מיקרומטר. רק באמצעות ציוד גילוי מדויק ניתן להבטיח תקן מחמיר זה.
2. זיהוי ישרות: יש לוודא את "הישר" של תנועה ליניארית
עבור פלטפורמות הנושאות חלקים נעים מדויקים, ישר הוא בעל חשיבות חיונית. השיטות הנפוצות לגילוי הן שיטת התיל או קולימטור לייזר. שיטת התיל כוללת תליית חוטי פלדה מדויקים ביותר והשוואת הפער בין פני השטח של הפלטפורמה לחוטי הפלדה כדי לקבוע את הישרות. קולימטור הלייזר משתמש במאפייני ההתפשטות הליניארית של הלייזר כדי לזהות את השגיאה הליניארית של פני השטח של מסילת ההנחיה של הפלטפורמה. אם הישרות אינה עומדת בתקן, הדבר יגרום לציוד לזוז במהלך התנועה, דבר המשפיע על דיוק העיבוד או המדידה.
3. זיהוי חספוס פני השטח: ודא את "דקות" המגע
חספוס פני השטח של הפלטפורמה משפיע על התאמת התקנת הרכיבים. בדרך כלל, משתמשים במד חספוס עט או במיקרוסקופ אופטי לגילוי. מכשיר מסוג עט מתעד את שינויי הגובה של הפרופיל המיקרוסקופי על ידי מגע עם פני השטח של הפלטפורמה עם גלאי דק. מיקרוסקופים אופטיים יכולים לצפות ישירות במרקם פני השטח. ביישומים מדויקים, יש לשלוט בחספוס פני השטח של פלטפורמות גרניט ב-Ra≤0.05μm, השווה ערך לאפקט דמוי מראה, מה שמבטיח שרכיבים מדויקים יתאימו היטב במהלך ההתקנה ומונעים רטט או תזוזה הנגרמת על ידי פערים.
תקני הדיוק הם כדלקמן: נורמות בינלאומיות ובקרה פנימית של הארגון
כיום, ברמה הבינלאומית, תקני ISO 25178 ו-GB/T 24632 משמשים בדרך כלל כבסיס לקביעת הדיוק של פלטפורמות גרניט, וישנם סיווגים ברורים למדדים כמו שטוחות וישרות. בנוסף, מפעלי ייצור יוקרתיים קובעים לעתים קרובות תקני בקרה פנימית מחמירים יותר. לדוגמה, דרישת השטיחות לפלטפורמת הגרניט של מכונת הפוטוליתוגרפיה גבוהה ב-30% מהתקן הבינלאומי. בעת ביצוע בדיקות, יש להשוות את הנתונים הנמדדים לתקנים המתאימים. רק פלטפורמות העומדות במלואן בתקנים יכולות להבטיח ביצועים יציבים בציוד מדויק.
בדיקת הדיוק של פלטפורמות גרניט מדויקות היא פרויקט שיטתי. רק על ידי בדיקה קפדנית של מדדים מרכזיים כגון שטוחות, ישרות וחספוס פני השטח, ועמידה בתקנים בינלאומיים וארגוניים, ניתן להבטיח את הדיוק והאמינות הגבוהים של הפלטפורמה, ולהניח בסיס איתן לתחומי ייצור מתקדמים כגון מוליכים למחצה ומכשירים מדויקים.