גרניט הוא חומר קשה ועמיד המשמש לעתים קרובות בענף הבנייה. עם זאת, יש לו גם תכונות שהופכות אותו לשימושי בייצור מוליכים למחצה, במיוחד בייצור ועיבוד של מעגלים משולבים. רכיבי גרניט, כמו שולחנות גרניט וגושי גרניט, נמצאים בשימוש נרחב ליציבותם, לשטוחם ולמקדם ההתרחבות התרמי הנמוך שלהם.
אחד השימושים העיקריים ברכיבי גרניט בייצור מוליכים למחצה נמצא בתהליך הייצור. יש לייצר את פליקי הסיליקון, אבני הבניין הבסיסיות של מעגלים משולבים, ברמת דיוק גבוהה ובדיוק. כל עיוות או תנועה במהלך התהליך יכולים להוביל לפגמים העלולים להשפיע על איכותם ופונקציונליותם של המעגלים המשולבים. שולחנות גרניט, עם היציבות הגבוהה והפטיחות שלהם, מספקים פלטפורמה טובה לציוד העיבוד של הוופל. הם גם עמידים בפני התפשטות תרמית והתכווצות הנגרמת כתוצאה מחימום וקירור הנדרשים בתהליך.
בלוקים גרניט משמשים גם בעיבוד מוליכים למחצה ליציבותם התרמית. במהלך תהליכי תחריט או בתצהיר משתמשים בגזים חמים או בפלזמות כדי לשנות את פני השטח של רקיק הסיליקון. יש לשלוט על הטמפרטורה של הוופל כדי להבטיח כי התהליך מתבצע ביעילות ובמדויק. בלוקים גרניט, עם מקדם ההתרחבות התרמי הנמוך שלהם, מסייעים בייצוב הטמפרטורה של הוופל, תוך הפחתת הסיכון לתנודות טמפרטורה העלולות להשפיע על איכות החומר המעובד.
מלבד תהליכי הייצור והעיבוד, משתמשים ברכיבי גרניט גם בשלבי המטרולוגיה והבדיקה של ייצור מוליכים למחצה. מדידות מטרולוגיה נעשות על מנת להבטיח כי גודל, צורת ומיקום המבנים על הוופל נמצאים במפרט הנדרש. בלוקי גרניט משמשים כסטנדרטים של התייחסות במדידות אלה בגלל היציבות והדיוק הממדי שלהם. הם משמשים גם בשלבי בדיקה, בהם איכות המעגלים המשולבים נבדקת תחת הגדלה גבוהה.
בסך הכל, השימוש ברכיבי גרניט בייצור מוליכים למחצה גדל בשנים האחרונות. הצורך ברמת דיוק גבוהה, דיוק ויציבות בייצור ועיבוד של מעגלים משולבים הניע את אימוץ חומרים אלה על ידי יצרני מוליכים למחצה. המאפיינים הייחודיים של גרניט, כמו קשיותו, יציבותו ומקדם התפשטות תרמית נמוכה, הופכים אותו לבחירה מצוינת לשימוש בתהליכים אלה. עם המשך פיתוח ושיפור טכנולוגיית מוליכים למחצה, השימוש ברכיבי גרניט צפוי לצמוח עוד יותר בעתיד.
זמן ההודעה: דצמבר 05-2023