גרניט הוא חומר קשה ועמיד המשמש לעתים קרובות בתעשיית הבנייה. עם זאת, יש לו גם תכונות שהופכות אותו לשימושי בייצור מוליכים למחצה, במיוחד בייצור ועיבוד של מעגלים משולבים. רכיבי גרניט, כגון שולחנות גרניט וגושי גרניט, נמצאים בשימוש נרחב בשל יציבותם, שטוחותם ומקדם ההתפשטות התרמית הנמוך שלהם.
אחד השימושים העיקריים של רכיבי גרניט בייצור מוליכים למחצה הוא בתהליך הייצור. פרוסות סיליקון, אבני הבניין הבסיסיות של מעגלים משולבים, צריכות להיות מיוצרות בדיוק רב. כל עיוות או תנועה במהלך התהליך עלולים להוביל לפגמים שעלולים להשפיע על איכותם ותפקודם של המעגלים המשולבים. שולחנות גרניט, עם יציבותם הגבוהה ושטיחותם, מספקים פלטפורמה טובה לציוד עיבוד פרוסות סיליקון. הם גם עמידים בפני התפשטות והתכווצות תרמית הנגרמות על ידי החימום והקירור הנדרשים בתהליך.
בלוקי גרניט משמשים גם בעיבוד מוליכים למחצה בשל יציבותם התרמית. במהלך תהליכי איכול או שיקוע, גזים חמים או פלזמות משמשים לשינוי פני השטח של פרוסת הסיליקון. יש לשלוט על טמפרטורת הפרוסה כדי להבטיח שהתהליך מתבצע ביעילות ובדייקנות. בלוקי גרניט, עם מקדם ההתפשטות התרמית הנמוך שלהם, מסייעים לייצב את טמפרטורת הפרוסה, ומפחיתים את הסיכון לתנודות טמפרטורה שעלולות להשפיע על איכות החומר המעובד.
מלבד תהליכי הייצור והעיבוד, רכיבי גרניט משמשים גם בשלבי המטרולוגיה והבדיקה של ייצור מוליכים למחצה. מדידות מטרולוגיה מבוצעות כדי להבטיח שהגודל, הצורה והמיקום של המבנים על גבי הוופל עומדים במפרט הנדרש. בלוקי גרניט משמשים כתקני ייחוס במדידות אלו בשל יציבותם הממדית ודיוקם. הם משמשים גם בשלבי בדיקה, שבהם איכות המעגלים המשולבים נבדקת תחת הגדלה גבוהה.
בסך הכל, השימוש ברכיבי גרניט בייצור מוליכים למחצה גבר בשנים האחרונות. הצורך בדיוק, דיוק ויציבות גבוהים בייצור ועיבוד של מעגלים משולבים הניע את אימוץ חומרים אלה על ידי יצרני מוליכים למחצה. התכונות הייחודיות של הגרניט, כגון קשיותו, יציבותו ומקדם ההתפשטות התרמית הנמוך, הופכות אותו לבחירה מצוינת לשימוש בתהליכים אלה. עם הפיתוח והשיפור המתמשכים של טכנולוגיית המוליכים למחצה, צפוי שהשימוש ברכיבי גרניט יגדל עוד יותר בעתיד.
זמן פרסום: 05-12-2023