בהתקני מוליכים למחצה, אילו תת-מערכות ליבה משמשות בעיקר גרניט?

גרניט הוא אחד החומרים הפופולריים ביותר המשמשים בהתקני מוליכים למחצה. זהו סוג של סלע קשה ומגמתי המגיע בגוונים שונים של אפור, ורוד ולבן. גרניט ידוע בעמידותו, במקדם התפשטות תרמית נמוך ובמוליכות תרמית מצוינת, מה שהופך אותו לחומר אידיאלי לשימוש בתת-מערכות של התקני מוליכים למחצה.

אחת מתת-המערכות העיקריות המשתמשות בגרניט בהתקני מוליכים למחצה היא תת-מערכת הטיפול ועיבוד הוופלים (wafers). תת-מערכת זו ממלאת תפקיד מכריע בתהליך הייצור של התקני מוליכים למחצה. הוופלים הם המצע המוצא של ההתקן, ותת-מערכת הטיפול והעיבוד אחראית על העברת הוופלים בין תאים וציוד עיבוד שונים. גרניט משמש ליצירת משטחי טיפול בוופלים שטוחים ומדויקים ביותר ומספק פלטפורמה יציבה לעיבוד הוופלים.

תת-מערכת קריטית נוספת המשתמשת בגרניט היא תת-מערכת הוואקום. בהתקני מוליכים למחצה, תאי ואקום משמשים כדי למנוע זיהום במהלך הייצור. כדי שמערכת זו תפעל ביעילות, התא חייב להיות אטום לחלוטין, וכאן נכנס לתמונה הגרניט. גרניט הוא חומר אידיאלי לתאי ואקום מכיוון שיש לו שיעורי פליטת גזים נמוכים מאוד והוא יכול לשמור על סביבת ואקום יציבה. בנוסף, דיוק העיבוד הגבוה של הגרניט מאפשר יצירת אטימה מושלמת, המספקת סביבת ואקום אמינה לעיבוד פרוסות סיליקון.

תת-מערכת היישור היא מערכת קריטית נוספת המשתמשת בתכונות הייחודיות של גרניט. תת-מערכת זו אחראית על יישור חלקים שונים של התקני מוליכים למחצה בדיוק רב. גרניט משמש בתכנון ובבנייה של שלבי היישור כדי להבטיח קשיחות ויציבות גבוהות. הנוקשות הגבוהה של הגרניט מסייעת בהשגת דיוק יישור גבוה, מה שמוביל לייצור התקני מוליכים למחצה מדויקים ואמינים ביותר.

לבסוף, תת-מערכת המטרולוגיה היא מערכת נוספת של התקני מוליכים למחצה המשתמשת בגרניט. מטרולוגיה ממלאת תפקיד חיוני בעיבוד פרוסות סיליקון, ודיוק תת-מערכת זו הוא קריטי להבטחת איכות ההתקן. גרניט מספקת פלטפורמה יציבה וקשיחה המסייעת בהפחתת רעידות ובמזער את השפעת תנודות הטמפרטורה. זה, בתורו, מסייע בהשגת מדידות מדויקות ביותר בתת-מערכת המטרולוגיה, מה שמוביל לייצור התקני מוליכים למחצה באיכות גבוהה.

לסיכום, גרניט הוא חומר מכריע בייצור התקני מוליכים למחצה. תכונותיו הייחודיות, כגון קשיחות גבוהה, התפשטות תרמית נמוכה ומוליכות תרמית מצוינת, הופכות אותו לחומר מצוין עבור מספר תת-מערכות בהתקני מוליכים למחצה, כולל טיפול ועיבוד פרוסות סיליקון, תת-מערכת ואקום, תת-מערכת יישור ותת-מערכת מטרולוגיה. יתר על כן, השימוש בגרניט בהתקני מוליכים למחצה סייע בייצור התקנים מדויקים, אמינים ויעילים ביותר ששינו תעשיות רבות.