באילו חלקים ממערכת ההעברה של הוופל משתמשים בחומרי גרניט?

חומרי גרניט נמצאים בשימוש נרחב בתעשיית המוליכים למחצה בגלל המאפיינים המצוינים שלהם, כמו יציבות גבוהה, התרחבות תרמית נמוכה והתנגדות גבוהה לקורוזיה. מאפיינים אלה הופכים את גרניט לחומר אידיאלי לבניית רכיבים בעלי דיוק גבוה במערכת העברת רקיק.

בתהליך ייצור המוליכים למחצה, מערכת העברת הפקידים ממלאת תפקיד קריטי בהובלת פלים על פני שלבים שונים בתהליך הייצור. דיוק ודיוק הם הדרישות החיוניות למערכות אלה מכיוון שאפילו סטיות קלות עלולות לסכן את כל התהליך. לפיכך, רכיבים במערכת ההעברה של הוופל חייבים להיעשות מחומרים באיכות גבוהה, וגרניט עומד בקריטריונים אלה.

חלקים מסוימים ממערכת ההעברה של הוופל העשויים מחומרי גרניט כוללים:

1. שולחן צ'אק ואקום

טבלת צ'אק ואקום משמשת להחזקת הוופלת במהלך התהליך, ועליה להיות משטח יציב כדי להבטיח שהפקידה לא פגומה. גרניט הוא חומר אידיאלי להכנת שולחן זה מכיוון שיש לו משטח שטוח ולא נקבובי המספק יציבות ודיוק גבוה. בנוסף, לגרניט יש מקדם נמוך של התרחבות תרמית, מה שהופך אותו לעמידה בפני שינויי טמפרטורה העלולים לגרום לשינויים ממדיים בוופר.

2. שלב נושאי אוויר

השלב הנושא האוויר משמש להובלת הוופל דרך שלבים שונים של תהליך הייצור. הבמה מהונדסת כדי לספק תנועה ללא חיכוך, הדורשת דיוק ויציבות גבוהה. גרניט משמש ביישום זה מכיוון שהיא אבן נוקשה וקשה, והיא מתנגדת לעיוות וללבוש לאורך זמן.

3. מדריכי תנועה לינאריים

מדריכי התנועה הליניאריים משמשים להנחיית שלב הנושא האוויר, ויש למקם אותם במדויק כדי למזער שגיאות. גרניט משמש לבניית מדריך זה מכיוון שיש לו יציבות וכוח מכני מצוין. החומר עמיד בפני קורוזיה, מה שמבטיח את אריכות החיים של מערכת המדריכים.

4. ציוד מטרולוגיה

ציוד מטרולוגיה משמש למדידת הממדים והתכונות של הוופל במהלך תהליך הייצור. גרניט הוא חומר אידיאלי לבניית ציוד זה מכיוון שיש לו קשיחות גבוהה, התרחבות נמוכה ועיוות מינימלי תחת עומס. יתר על כן, היציבות התרמית של גרניט מבטיחה כי ציוד המטרולוגיה יישאר יציב ומדויק לאורך זמן.

לסיכום, תעשיית המוליכים למחצה מסתמכת על דיוק ודיוק, וחומרי גרניט הוכיחו כי הם אמינים ויציבים ביותר בתהליך הייצור. עם רכיבים קריטיים רבים במערכת ההעברה של הוופל הדורשים יציבות גבוהה, דיוק והתרחבות תרמית נמוכה, המהנדסים פנו לחומרי גרניט כדי לעמוד בדרישות קריטיות אלה.