חומרי גרניט נמצאים בשימוש נרחב בתעשיית המוליכים למחצה בשל תכונותיהם המצוינות, כגון יציבות גבוהה, התפשטות תרמית נמוכה ועמידות גבוהה בפני קורוזיה. תכונות אלו הופכות את הגרניט לחומר אידיאלי לבניית רכיבים מדויקים במערכת העברת פרוסות סיליקון.
בתהליך ייצור מוליכים למחצה, מערכת העברת הוופלים ממלאת תפקיד קריטי בהובלת הוופלים בשלבים שונים של תהליך הייצור. דיוק ודיוק הם הדרישות החיוניות למערכות אלו, שכן אפילו סטיות קלות עלולות לסכן את התהליך כולו. לכן, רכיבים במערכת העברת הוופלים חייבים להיות עשויים מחומרים איכותיים, וגרניט עומד בקריטריונים אלה.
חלקים מסוימים של מערכת העברת הוופלים העשויים מחומרי גרניט כוללים:
1. שולחן צ'אק ואקום
שולחן צ'אק הוואקום משמש להחזקת הוופל במהלך התהליך, ועליו להיות בעל משטח יציב כדי להבטיח שהוופל לא יינזק. גרניט הוא חומר אידיאלי לייצור שולחן זה מכיוון שיש לו משטח שטוח ולא נקבובי המספק יציבות ודיוק גבוהים. בנוסף, לגרניט מקדם התפשטות תרמית נמוך, מה שהופך אותו לעמיד בפני שינויי טמפרטורה שעלולים לגרום לשינויים ממדיים בוופל.
2. שלב נושאי אוויר
שלב נושא האוויר משמש להובלת הוופל דרך שלבים שונים של תהליך הייצור. השלב תוכנן לספק תנועה ללא חיכוך, הדורשת דיוק ויציבות גבוהים. גרניט משמש ביישום זה מכיוון שהוא אבן קשיחה וקשה, והוא עמיד בפני עיוות ובלאי לאורך זמן.
3. מדריכי תנועה ליניארית
מובילי התנועה הליניארית משמשים להכוונת השלב בעל נושאות האוויר, ויש למקם אותם במדויק כדי למזער שגיאות. גרניט משמש לבניית מוביל זה מכיוון שיש לו יציבות מכנית וחוזק מעולים. החומר גם עמיד בפני קורוזיה, מה שמבטיח את אורך חיי מערכת המובילים.
4. ציוד מטרולוגיה
ציוד מטרולוגיה משמש למדידת המידות והתכונות של פרוסת הוואפל במהלך תהליך הייצור. גרניט הוא חומר אידיאלי לבניית ציוד זה משום שיש לו קשיחות גבוהה, התפשטות נמוכה ועיוות מינימלי תחת עומס. יתר על כן, היציבות התרמית של הגרניט מבטיחה שציוד המטרולוגיה יישאר יציב ומדויק לאורך זמן.
לסיכום, תעשיית המוליכים למחצה מסתמכת על דיוק מדויק, וחומרי גרניט הוכחו כאמינים ויציבים ביותר בתהליך הייצור. מכיוון שרכיבים קריטיים רבים במערכת העברת הוופלים דורשים יציבות גבוהה, דיוק והתפשטות תרמית נמוכה, מהנדסים פנו לחומרי גרניט כדי לעמוד בדרישות קריטיות אלו.
זמן פרסום: 19 במרץ 2024