חומרי גרניט נמצאים בשימוש נרחב בתעשיית המוליכים למחצה בשל המאפיינים המצוינים שלהם, כגון יציבות גבוהה, התפשטות תרמית נמוכה ועמידות גבוהה בפני קורוזיה.תכונות אלו הופכות את הגרניט לחומר אידיאלי לבניית רכיבים בעלי דיוק גבוה במערכת העברת רקיק.
בתהליך ייצור המוליכים למחצה, מערכת העברת הפרוסים ממלאת תפקיד קריטי בהובלת פרוסות על פני שלבים שונים של תהליך הייצור.דיוק ודיוק הם הדרישות החיוניות למערכות אלו, שכן אפילו סטיות קלות עלולות לסכן את התהליך כולו.לכן, רכיבים במערכת העברת פרוסות חייבים להיות עשויים מחומרים איכותיים, וגרניט עומד בקריטריונים אלו.
חלקים מסוימים של מערכת העברת פרוסות העשויים מחומרי גרניט כוללים:
1. שולחן ואקום צ'אק
שולחן צ'אק הוואקום משמש לאחיזה של הפרוסה במהלך התהליך, והוא חייב להיות בעל משטח יציב כדי להבטיח שהוואפר לא ייפגע.גרניט הוא חומר אידיאלי להכנת שולחן זה מכיוון שיש לו משטח שטוח ולא נקבובי המספק יציבות ודיוק גבוהים.בנוסף, לגרניט יש מקדם התפשטות תרמית נמוך, מה שהופך אותו לעמיד בפני שינויי טמפרטורה שעלולים לגרום לשינויים ממדיים בפרוסה.
2. שלב נושאות אוויר
שלב נושאות האוויר משמש להובלת הוופל דרך שלבים שונים של תהליך הייצור.הבמה מתוכננת לספק תנועה ללא חיכוך, הדורשת דיוק ויציבות גבוהים.גרניט משמש ביישום זה מכיוון שהוא אבן קשיחה וקשה, והוא עמיד בפני עיוותים ובלאי לאורך זמן.
3. מדריכי תנועה ליניאריים
מובילי התנועה הליניאריים משמשים להנחיית שלב נושא האוויר, והם חייבים להיות ממוקמים במדויק כדי למזער שגיאות.גרניט משמש לבניית מדריך זה מכיוון שיש לו יציבות וחוזק מכאניים מעולים.החומר גם עמיד בפני קורוזיה, מה שמבטיח את אורך החיים של מערכת ההנחיה.
4. ציוד מטרולוגיה
ציוד מטרולוגיה משמש למדידת הממדים והמאפיינים של הפרוסה במהלך תהליך הייצור.גרניט הוא חומר אידיאלי לבניית ציוד זה מכיוון שיש לו קשיחות גבוהה, התפשטות נמוכה ועיוות מינימלי תחת עומס.יתרה מכך, היציבות התרמית של הגרניט מבטיחה שהציוד המטרולוגי יישאר יציב ומדויק לאורך זמן.
לסיכום, תעשיית המוליכים למחצה מסתמכת על דיוק ודיוק, וחומרי גרניט הוכחו כאמינים ויציבים ביותר בתהליך הייצור.עם רכיבים קריטיים רבים במערכת העברת פרוסות הדורשים יציבות גבוהה, דיוק והתפשטות תרמית נמוכה, מהנדסים פנו לחומרי גרניט כדי לעמוד בדרישות הקריטיות הללו.
זמן פרסום: 19-3-2024