מנוע ליניארי + בסיס גרניט: הסוד המרכזי של הדור החדש של מערכת העברת פרוסות.

בשרשרת המדויקת של ייצור מוליכים למחצה, מערכת העברת הוופלים היא כמו "קו החיים של קו ייצור השבבים", ויציבותה ודיוקה קובעים ישירות את קצב התפוקה של השבבים. הדור החדש של מערכות העברת הוופלים משלב באופן מהפכני מנועים ליניאריים עם בסיסי גרניט, והיתרונות הייחודיים של חומרי גרניט הם בדיוק קוד הליבה לפתיחת תמסורת בעלת ביצועים גבוהים.

​
בסיס גרניט: בניית "יסוד מוצק כסלע" להעברה יציבה
גרניט, שעבר מאות מיליוני שנים של עידון גיאולוגי, מתאפיין בגיבוש מינרלי פנימי צפוף ואחיד. מאפיין טבעי זה הופך אותו לחומר בסיס אידיאלי למערכות העברת פרוסות סיליקון. בסביבה המורכבת של חדרי נקיון של מוליכים למחצה, גרניט, עם מקדם ההתפשטות התרמית הנמוך במיוחד שלו (רק 5-7 ×10⁻⁶/℃), יכול לעמוד בפני החום הנוצר במהלך הפעלת הציוד ובהשפעת שינויי טמפרטורת הסביבה, ובכך להבטיח את יציבות גודל הבסיס ולמנוע סטייה בנתיב ההולכה הנגרמת על ידי עיוות תרמי. ביצועי ריסון הרטט המצוינים שלו יכולים לספוג במהירות את הרעידות המכניות הנוצרות במהלך ההפעלה, הכיבוי וההאצה של מנועים ליניאריים, כמו גם את ההפרעות החיצוניות הנגרמות על ידי הפעלת ציוד אחר בסדנה, ולספק פלטפורמה יציבה עם "אפס רעידות" להעברת פרוסות סיליקון.
בינתיים, היציבות הכימית של הגרניט מבטיחה שהוא לא יחליד או יחליד בסדנאות של מוליכים למחצה שבהן ריאגנטים חומציים ובסיסיים נדיפים ונדרש ניקיון גבוה, ובכך נמנעת מההשפעה על דיוק ההעברה עקב הזדקנות החומר או ספיחה של מזהמים. מאפייני פני השטח החלקים והצפופים יכולים להפחית בצורה יעילה יותר את הידבקות האבק, לעמוד בסטנדרטים המחמירים של נטול אבק של חדרים נקיים ולבטל את הסיכון לזיהום פרוסות מהשורש.
אפקט "שותפות הזהב" של מנועים ליניאריים וגרניט
מנועים ליניאריים, בעלי מאפיינים של חוסר מרווח מכני בהילוכים, תאוצה גבוהה ומהירות תגובה גבוהה, מעניקים לתיבת פרוסות ופלים את היתרונות של "מהירות, מדויקות ויציבות". בסיס הגרניט מספק פלטפורמת תמיכה מוצקה ואמינה עבורם. השניים פועלים יחד כדי להשיג קפיצת מדרגה בביצועים. כאשר המנוע הליניארי מניע את נושאת הפרוסות לפעול על מסילת בסיס הגרניט, הנוקשות והיציבות החזקות של הבסיס מבטיחות העברה יעילה של כוח ההנעה של המנוע, תוך הימנעות מאובדן כוח או השהיית העברה הנגרמים מעיוות הבסיס.
מונעים על ידי הדרישה לדיוק ננומטרי, מנועים ליניאריים יכולים להשיג בקרת תזוזה ברמה תת-מיקרון. מאפייני העיבוד הדיוק הגבוהים של בסיסי גרניט (עם שגיאות שטוחות הנשלטות בטווח של ±1 מיקרומטר) תואמים בצורה מושלמת את הבקרה המדויקת של מנועים ליניאריים, ומבטיחים יחד ששגיאת המיקום במהלך העברת פרוסות הגרניט תהיה פחות מ-±5 מיקרומטר. בין אם מדובר במעבר במהירות גבוהה בין ציוד תהליך שונה או בחניה מדויקת למסירת פרוסות הגרניט, השילוב של מנועים ליניאריים ובסיסי גרניט יכול להבטיח "אפס סטייה ואפס ריצוד" בהעברת פרוסות הגרניט.
אימות נוהג בתעשייה: שיפור כפול ביעילות ובשיעור התשואה
לאחר שדרוג מערכת העברת הוופלים שלה, חברת מוליכים למחצה מובילה בעולם אימצה פתרון של מנוע ליניארי + בסיס גרניט, אשר הגביר את יעילות העברת הוופלים ב-40%, הפחית את שיעור התרחשות התקלות כגון התנגשויות וקיזוז במהלך תהליך ההעברה ב-85%, ושיפר את שיעור התפוקה הכולל של השבבים ב-6%. מאחורי הנתונים טמונה ערובה ליציבות ההעברה המסופקת על ידי בסיס הגרניט ואפקט הסינרגיה המהיר והמדויק של המנוע הליניארי, אשר מפחית משמעותית את ההפסדים והשגיאות בתהליך העברת הוופלים.
מתכונות חומר ועד ייצור מדויק, מיתרונות ביצועים ועד אימות מעשי, השילוב של מנועים ליניאריים ובסיסי גרניט הגדיר מחדש את הסטנדרטים של מערכות העברת פרוסות סיליקון. בעתיד, כאשר טכנולוגיית המוליכים למחצה תתקדם לתהליכים של 3 ננומטר ו-2 ננומטר, חומרי גרניט בוודאי ימשיכו להזרים תנופה חזקה לפיתוח התעשייה עם יתרונותיהם שאין להם תחליף.