בתעשיית המוליכים למחצה, בדיקת פרוסות סיליקון היא חוליה מרכזית להבטחת איכות וביצועי השבב, והדיוק והיציבות של שולחן הבדיקה ממלאים תפקיד מכריע בתוצאות הגילוי. בסיס גרניט, עם מאפייניו הייחודיים, הופך לבחירה האידיאלית עבור שולחן בדיקת פרוסות סיליקון מוליכים למחצה, והניתוח הרב-ממדי הבא עבורכם.
ראשית, ממד ערבות הדיוק
1. שטוחות וישור גבוהות במיוחד: בסיס הגרניט מעובד בטכנולוגיית עיבוד מתקדמת, והשטוחות יכולה להגיע לדיוק של ±0.001 מ"מ/מ' או אף גבוה יותר, והישור גם הוא מצוין. בתהליך בדיקת הוופלים, המישור בעל הדיוק הגבוה מספק תמיכה יציבה לוופל ומבטיח מגע מדויק בין הגשושית של ציוד הבדיקה לבין חיבורי ההלחמה על פני הוופל.
2. מקדם התפשטות תרמית נמוך מאוד: ייצור מוליכים למחצה רגיש לשינויי טמפרטורה, ומקדם ההתפשטות התרמית של גרניט נמוך ביותר, בדרך כלל כ-5×10⁻⁶/℃. כאשר פלטפורמת הגילוי פועלת, גם אם טמפרטורת הסביבה משתנה, גודל בסיס הגרניט משתנה מעט מאוד. לדוגמה, בסדנה בטמפרטורה גבוהה בקיץ, הטמפרטורה של פלטפורמת הגילוי של בסיס מתכת נפוץ עלולה לגרום למיקום היחסי של הוופל וציוד הגילוי להשתנות, מה שמשפיע על דיוק הגילוי; פלטפורמת הגילוי של בסיס הגרניט יכולה לשמור על יציבות, להבטיח את דיוק המיקום היחסי של הוופל וציוד הגילוי במהלך תהליך הגילוי, ולספק סביבה יציבה לגילוי בדיוק גבוה.
שנית, ממד היציבות
1. מבנה יציב ועמידות בפני רעידות: גרניט לאחר מיליוני שנים של תהליכים גיאולוגיים, המבנה הפנימי שלו צפוף ואחיד. בסביבה המורכבת של מפעל מוליכים למחצה, הרעידות שנוצרות כתוצאה מהפעלת ציוד היקפי וצוות המסתובב נחלשות ביעילות על ידי בסיס הגרניט.
2. דיוק שימוש לטווח ארוך: בהשוואה לחומרים אחרים, לגרניט קשיות גבוהה, עמידות חזקה בפני שחיקה, וקשיחות מוס יכולה להגיע ל-6-7. משטח בסיס הגרניט אינו נשחק בקלות במהלך פעולות טעינה, פריקה ובדיקה תכופות של פרוסות. על פי נתוני השימוש בפועל, השימוש בשולחן בדיקה של בסיס גרניט מאפשר פעולה רציפה לאחר 5000 שעות, דיוק שטוח וישור עדיין נשמר ביותר מ-98% מהדיוק ההתחלתי, מה שמפחית את הבלאי של הבסיס עקב זמני כיול ותחזוקה קבועים של הציוד, מפחית את עלויות התפעול העסקיות ומבטיח יציבות ארוכת טווח של עבודת הבדיקה.
שלישית, ממד נקי ואנטי-התערבות
1. ייצור אבק נמוך: סביבת ייצור המוליכים למחצה צריכה להיות נקייה ביותר, וחומר הגרניט עצמו יציב ואינו מייצר בקלות חלקיקי אבק. במהלך הפעלת פלטפורמת הבדיקה, נמנעת האבק שנוצר על ידי הבסיס מלזהם את הוופל, והסיכון לקצר חשמלי ומעגל פתוח הנגרם על ידי חלקיקי אבק מצטמצם. באזור בדיקת הוופל של הסדנה נטולת האבק, ריכוז האבק סביב שולחן בדיקת בסיס הגרניט נשלט תמיד לרמה נמוכה ביותר, ועומד בדרישות הניקיון המחמירות של תעשיית המוליכים למחצה.
2. ללא הפרעות מגנטיות: ציוד הגילוי רגיש לסביבה אלקטרומגנטית, וגרניט הוא חומר לא מגנטי, שאינו מפריע לאות האלקטרוני של ציוד הגילוי. בשימוש בגילוי אלומת אלקטרונים וטכנולוגיות בדיקה אחרות הדורשות סביבה אלקטרומגנטית גבוהה במיוחד, בסיס הגרניט מבטיח שידור יציב של האות האלקטרוני של ציוד הגילוי ומבטיח את דיוק תוצאות הבדיקה. לדוגמה, כאשר הוופל נבדק לביצועים חשמליים מדויקים, בסיס הגרניט הלא מגנטי נמנע מהפרעות לאותות זרם ומתח הגילוי, כך שנתוני הגילוי משקפים באמת את המאפיינים החשמליים של הוופל.
זמן פרסום: 31 במרץ 2025