תחום היישום של מודול תנועה מדויק במיוחד לצוף אוויר בעל ציר יחיד המשתמש בבסיס גרניט.

ייצור מוליכים למחצה: בתהליך ייצור השבבים, תהליך הפוטוליתוגרפיה צריך להעביר את תבנית המעגל במדויק לפלח האבק. בסיס הגרניט של מודול תנועה מדויק במיוחד בעל ציר יחיד בעל אוויר יכול לספק מיקום מדויק ותמיכה יציבה לשולחן הפלח האבק בציוד הליתוגרפיה. לדוגמה, ASML ויצרני מכונות ליתוגרפיה ידועים אחרים בעלי שם עולמי משתמשים במודולי תנועה צפויים על בסיס גרניט בציוד המתקדם שלהם, שיכולים לשלוט בדיוק המיקום של הפלח האבק ברמה ננומטרית כדי להבטיח את דיוק תבנית הליתוגרפיה, ובכך לשפר את האינטגרציה והביצועים של השבב.
תחום מדידה מדויקת: CMM הוא ציוד מדידה מדויק הנפוץ בייצור תעשייתי, המשמש למדידת גודל, צורה ודיוק מיקום של חומר העבודה. מודול התנועה המדויק במיוחד של מצוף אוויר חד-צירי על בסיס גרניט יכול לשמש כפלטפורמת תנועה של ה-CMM, שיכול לממש תנועה ליניארית מדויקת ביותר ולספק מסלול תנועה יציב עבור גשש המדידה. לדוגמה, ה-CMM היוקרתי של Hexagon משתמש בשילוב זה כדי למדוד חלקים גדולים ומורכבים בדיוק מדידה עד לרמת מיקרון, ומספק ערובה חזקה לבקרת איכות חלקים בתעשיות הרכב, התעופה ותעשיות אחרות.
תחום התעופה והחלל: בעיבוד ובדיקה של חלקי חלל נדרש דיוק גבוה. לדוגמה, עיבוד שבבי של להבי מנועי מטוסים דורש שליטה מדויקת במסלול התנועה של הכלי כדי להבטיח את דיוק פרופיל הלהב. ניתן ליישם את בסיס הגרניט של מודול תנועה מדויק במיוחד של ציף אוויר בעל ציר יחיד על מרכז עיבוד שבבי בעל חמישה צירים וציוד אחר כדי לספק בקרת תנועה מדויקת ביותר עבור הכלי ולהבטיח שדיוק העיבוד של הלהב יכול לעמוד בדרישות התכנון. יחד עם זאת, בתהליך ההרכבה של מנוע האוויר, יש צורך גם להשתמש בציוד מדידה מדויק ביותר כדי לזהות את דיוק ההרכבה של החלקים. מודול תנועת ציף האוויר של בסיס הגרניט יכול לספק תמיכה יציבה ותנועה מדויקת לציוד המדידה כדי להבטיח את איכות ההרכבה.
תחום בדיקה אופטית: בתהליך הייצור והבדיקה של רכיבים אופטיים, יש צורך לבצע מיקום ומדידה בדיוק גבוה של רכיבים אופטיים. לדוגמה, בעת ייצור רכיבים אופטיים בדיוק גבוה כגון מראות ועדשות, יש צורך להשתמש באינטרפרומטרים ובציוד אחר כדי לזהות את דיוק צורת פני השטח. בסיס הגרניט של מודול תנועה מדויק במיוחד בעל ציר יחיד יכול לשמש כפלטפורמת תנועה של האינטרפרומטר, שיכול לממש דיוק מיקום תת-מיקרון ולספק תמיכה מדויקת בנתונים לגילוי רכיבים אופטיים. בנוסף, בציוד עיבוד לייזר, יש צורך גם להשתמש בפלטפורמת תנועה מדויקת כדי לשלוט במסלול הסריקה של קרן הלייזר, בסיס הגרניט של מודול תנועה צפה באוויר יכול לעמוד בדרישה זו, כדי להשיג עיבוד לייזר מדויק.

גרניט מדויק14


זמן פרסום: 7 באפריל 2025