מהם תרחישי היישום הנפוצים של פלטפורמת תנועה בידוד רעידות אקטיבית מדויקת של XYT עם בסיס גרניט?

ייצור מוליכים למחצה
ליתוגרפיה: ליתוגרפיה היא תהליך מפתח בייצור מוליכים למחצה הדורש העברה מדויקת של דפוסי מעגלים מורכבים על גבי פרוסות סיליקון. פלטפורמת התנועה בידוד הרטט האקטיבית המדויקת של XYT על בסיס גרניט יכולה לספק תמיכה יציבה ומיקום מדויק לציוד הליתוגרפיה, להבטיח שדיוק המיקום של שולחן הפרוסות בתהליך החשיפה יגיע לרמת ננומטר, להפחית ביעילות את סטיית התבנית הנגרמת מרעידות ועיוות תרמי, ולשפר את דיוק הייצור והתפוקה של השבב.

בדיקת פרוסות: לאחר השלמת ייצור הפרוסות, יש לבדוק אותן בדיוק רב כדי למצוא פגמים קטנים ופגמים. פלטפורמת תנועה בידוד רטט אקטיבית מדויקת של XYT יכולה לשאת ציוד גילוי, כגון מיקרוסקופ אלומת אלקטרונים, מיקרוסקופ כוח אטומי וכו', כדי לשמור על תנועה יציבה ומיקום מדויק במהלך תהליך הגילוי, כך שציוד הגילוי יוכל לסרוק במדויק את פני הפרוסות, לשפר את רזולוציית הגילוי ואת הדיוק.
ייצור מכשירים אופטיים
ליטוש וליטוש עדשות: בתהליך הייצור של עדשות אופטיות, יש צורך ללטש וללטש את העדשות בדיוק גבוה כדי להשיג תכונות אופטיות טובות. פלטפורמת בידוד תנודות אקטיבית מדויקת של XYT יכולה לשלוט במדויק בנתיב התנועה של כלי השחזה והליטוש, בעוד שבסיס הגרניט יכול לבודד תנודות חיצוניות, להפחית את השפעת התנודות על דיוק העיבוד, כדי להבטיח ששטיחות פני השטח והגימור של העדשה יעמדו בדרישות התכנון.
הרכבת מערכת אופטית: בתהליך ההרכבה של המערכת האופטית, יש להתקין במדויק רכיבים אופטיים שונים במיקום ספציפי כדי להבטיח את התפשטות האור ואיכות ההדמיה המדויקת. פלטפורמת תנועה בידוד רעידות אקטיבית מדויקת של XYT עם בסיס גרניט יכולה לספק פלטפורמה יציבה להתקנה וכוונון של רכיבים אופטיים, ולהשיג יישור והרכבה מדויקים של רכיבים אופטיים באמצעות בקרת תנועה מדויקת.
תעופה וחלל

בדיקת מערכת ניווט אינרציאלית: מערכת ניווט אינרציאלית היא ציוד ניווט חשוב בתחום התעופה והחלל, ודיוקה משפיע ישירות על דיוק הניווט ובטיחות הטיסה של כלי טיס. בתהליך בדיקת מערכת ניווט אינרציאלית, יש צורך להשתמש במשטח מסתובב מדויק כדי לדמות מצבי תנועה שונים של כלי הטיס. פלטפורמת תנועה בידוד רעידות אקטיבית מדויקת של XYT יכולה לשמש כפלטפורמת תמיכה לשולחן המסתובב. באמצעות בקרת תנועה מדויקת וביצועי בידוד רעידות טובים, היא מספקת סביבת תנועה יציבה ומדויקת לבדיקת מערכת הניווט האירציאלית, ומשפרת את דיוק ואמינות הבדיקה.
עיבוד שבבי של להב מנוע אווירוני: לדיוק העיבוד השבבי של להב מנוע אווירוני יש השפעה חשובה על ביצועי המנוע והיעילות שלו. ניתן ליישם את פלטפורמת התנועה בידוד הרטט האקטיבית המדויקת של XYT בתהליך העיבוד השבבי של הלהב, כגון מרכז עיבוד שבבי בעל חמישה צירים, על ידי שליטה מדויקת בנתיב התנועה של הכלי ושמירה על סביבת עיבוד יציבה, כדי להשיג עיבוד שבבי מדויק של הלהב, על מנת להבטיח שדיוק פרופיל הלהב ואיכות פני השטח יעמדו בדרישות התכנון.
בדיקות מחקר מדעיות
מחקר ננו-מדעי: במחקר ננו-מדעי, יש צורך להפעיל ולצפות בעצמים בקנה מידה ננומטרי, כגון הכנת ננו-חומרים והרכבת ננו-התקנים. בסיס הגרניט של פלטפורמת תנועה בידוד רטט אקטיבי מדויקת XYT יכול לספק דיוק מיקום ברמה תת-מיקרון או אפילו ננו-רמתי, לספק פלטפורמה ניסיונית יציבה ומדויקת למחקר ננו-מדעי, ולעזור למדענים לחקור טוב יותר את מסתרי עולם הננו.
הדמיה ביו-רפואית: בתחום הביו-רפואי, כגון מיקרוסקופ פלואורסצנטי, מיקרוסקופ קונפוקלי ומכשירי הדמיה אחרים, על מנת לקבל תמונות ביולוגיות ברזולוציה גבוהה, נדרשים מיקום מדויק והדמיה יציבה של הדגימה. פלטפורמת תנועה בידוד רטט אקטיבי מדויקת של XYT יכולה לשאת דגימות ביולוגיות, להפחית את הרטט והסחיפה של הדגימות באמצעות בקרת תנועה מדויקת וביצועי בידוד רטט טובים, לשפר את איכות ודיוק ההדמיה, ולסייע לחוקרים ביו-רפואיים לערוך מחקר מעמיק על תאים, רקמות ומבנים מיקרוסקופיים אחרים.