♦אלומינה (אל2O3)
חלקי הקרמיקה המדויקים המיוצרים על ידי קבוצת הייצור החכמה של ZhongHui (ZHHIMG) עשויים מחומרי גלם קרמיים בעלי טוהר גבוה, 92~97% אלומינה, 99.5% אלומינה, >99.9% אלומינה, וכבישה איזוסטטית קרה CIP. סינטור בטמפרטורה גבוהה ועיבוד מדויק, דיוק ממדים של ± 0.001 מ"מ, חלקות עד Ra0.1, טמפרטורת שימוש עד 1600 מעלות. ניתן לייצר קרמיקה בצבעים שונים בהתאם לדרישות הלקוחות, כגון: שחור, לבן, בז', אדום כהה וכו'. חלקי הקרמיקה המדויקים המיוצרים על ידי חברתנו עמידים בפני טמפרטורה גבוהה, קורוזיה, בלאי ובידוד, וניתן להשתמש בהם לאורך זמן בסביבה של טמפרטורה גבוהה, ואקום וגז קורוזיבי.
נמצא בשימוש נרחב במגוון ציוד לייצור מוליכים למחצה: מסגרות (תושבת קרמית), מצע (בסיס), זרוע/גשר (מניפולטור), רכיבים מכניים ומיסבי אוויר קרמיים.
שם המוצר | צינור/מוט קרמי מרובע מאלומינה 99 טוהר גבוה | |||||
מַדָד | יְחִידָה | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99.5% Al2O3 | |
צְפִיפוּת | גרם/סמ"ק | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
ספיגת מים | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
טמפרטורת סינטור | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
קַשִׁיוּת | מוס | 7 | 9 | 9 | 9 | |
חוזק כיפוף (20℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
חוזק דחיסה | קילוגרם/סמ"ר | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
טמפרטורת עבודה ממושכת | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
טמפרטורת עבודה מקסימלית | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
התנגדות נפח | 20℃ | אוהם. סמ"ק | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
יישום של קרמיקה אלומינה טוהר גבוהה:
1. מיושם על ציוד מוליכים למחצה: צ'אק ואקום קרמי, דיסק חיתוך, דיסק ניקוי, צ'אק קרמי.
2. חלקי העברת ופלים: צ'אקים לטיפול בופלים, דיסקיות חיתוך ופלים, דיסקיות ניקוי ופלים, כוסות יניקה לבדיקה אופטית של ופלים.
3. תעשיית צגי LED / LCD שטוחים: זרבובית קרמית, דיסק טחינה קרמי, LIFT PIN, מסילת PIN.
4. תקשורת אופטית, תעשייה סולארית: צינורות קרמיקה, מוטות קרמיקה, מגרדים קרמיים להדפסת מסך של מעגלים מודפסים.
5. חלקים עמידים בחום ובידוד חשמלי: מיסבים קרמיים.
כיום, ניתן לחלק קרמיקה של תחמוצת אלומיניום לקרמיקה בעלת טוהר גבוה וקרמיקה נפוצה. סדרת קרמיקה של תחמוצת אלומיניום בעלת טוהר גבוה מתייחסת לחומר קרמי המכיל יותר מ-99.9% Al₂O₃. בשל טמפרטורת הסינטור שלה של עד 1650 - 1990 מעלות צלזיוס ואורך גל ההעברה שלה של 1 ~ 6 מיקרומטר, היא בדרך כלל מעובדת לזכוכית מותכת במקום כור היתוך של פלטינה: אשר יכולה לשמש כצינור נתרן בשל העברת האור ועמידותה בפני קורוזיה למתכת אלקלית. בתעשיית האלקטרוניקה, ניתן להשתמש בה כחומר מבודד בתדר גבוה עבור מצעים של IC. בהתאם לתכולה השונה של תחמוצת אלומיניום, ניתן לחלק את סדרת קרמיקה של תחמוצת אלומיניום נפוצה לקרמיקה 99, קרמיקה 95, קרמיקה 90 ו-85. לעיתים, קרמיקה עם 80% או 75% תחמוצת אלומיניום מסווגת גם כסדרת קרמיקה של תחמוצת אלומיניום נפוצה. ביניהם, חומר קרמי של תחמוצת אלומיניום 99 משמש לייצור כור היתוך בטמפרטורה גבוהה, צינורות תנור חסיני אש וחומרים מיוחדים עמידים בפני שחיקה, כגון מיסבים קרמיים, אטמים קרמיים ולוחות שסתומים. קרמיקה מאלומיניום 95 משמשת בעיקר כחלק עמיד בפני קורוזיה ובלאי. קרמיקה 85 מעורבבת לעתים קרובות בתכונות מסוימות, ובכך משפרת את הביצועים החשמליים ואת החוזק המכני. ניתן להשתמש בו במוליבדן, ניוביום, טנטלום ואטמים מתכתיים אחרים, וחלקם משמשים כמכשירי ואקום חשמליים.
פריט איכותי (ערך מייצג) | שם המוצר | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
הרכב כימי מוצר דל נתרן, קל לסינטור | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
לוֹל | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
Fe₂0� | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
SiO₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
Na₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
MgO* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
אל₂0� | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
קוטר חלקיקים בינוני (MT-3300, שיטת ניתוח לייזר) | מיקרומטר | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
גודל גביש α | מיקרומטר | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
צפיפות גיבוש** | גרם/סמ"ק | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
צפיפות סינטור** | גרם/סמ"ק | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
קצב התכווצות של קו סינטור** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO אינו נכלל בחישוב טוהר Al₂O₃.
* ללא אבקת אבנית 29.4MPa (300 ק"ג/ס"מ²), טמפרטורת סינטור היא 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: הוסיפו 0.05 ~ 0.1% MgO, הסינטוריות מצוינת, ולכן היא ניתנת ליישום על קרמיקה של תחמוצת אלומיניום עם טוהר של יותר מ-99%.
AES-22S: מאופיין בצפיפות עיצוב גבוהה וקצב התכווצות נמוך של קו הסינטור, הוא ישים ליציקת צורת החלקה ומוצרים בקנה מידה גדול אחרים עם דיוק ממדי נדרש.
AES-23 / AES-31-03: יש לו צפיפות יצירתית גבוהה יותר, תיקסוטרופיה וצמיגות נמוכה יותר מאשר AES-22S. הראשון משמש לקרמיקה בעוד שהשני משמש כמפחית מים לחומרים אטומים לעיר, וצובר פופולריות.
♦ מאפייני סיליקון קרביד (SiC)
מאפיינים כלליים | טוהר הרכיבים העיקריים (wt%) | 97 | |
צֶבַע | שָׁחוֹר | ||
צפיפות (גרם/סמ"ק) | 3.1 | ||
ספיגת מים (%) | 0 | ||
מאפיינים מכניים | חוזק כיפוף (MPa) | 400 | |
מודול יאנג (GPa) | 400 | ||
קשיות ויקרס (GPa) | 20 | ||
מאפיינים תרמיים | טמפרטורת הפעלה מקסימלית (°C) | 1600 | |
מקדם התפשטות תרמית | טמפרטורה ~ 500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | טמפרטורה ~ 800°C | 4.3 | |
מוליכות תרמית (W/m x K) | 130 110 | ||
עמידות בפני הלם תרמי ΔT (°C) | 300 | ||
מאפיינים חשמליים | התנגדות נפח | 25°C | 3x106 |
300 מעלות צלזיוס | - | ||
500 מעלות צלזיוס | - | ||
800 מעלות צלזיוס | - | ||
קבוע דיאלקטרי | 10GHz | - | |
הפסד דיאלקטרי (x 10-4) | - | ||
גורם Q (x 104) | - | ||
מתח פריצה דיאלקטרי (קילוואט/מ"מ) | - |
♦ קרמיקה מסיליקון ניטריד
חוֹמֶר | יְחִידָה | Si₃N₄ |
שיטת סינטור | - | לחץ גז מסונטר |
צְפִיפוּת | גרם/סמ"ק | 3.22 |
צֶבַע | - | אפור כהה |
קצב ספיגת מים | % | 0 |
מודולוס יאנג | ממוצע תוצאות | 290 |
קשיות ויקרס | ממוצע תוצאות | 18 - 20 |
חוזק דחיסה | Mpa | 2200 |
חוזק כיפוף | Mpa | 650 |
מוליכות תרמית | וואט/מ"ל קל | 25 |
עמידות בפני זעזועים תרמיים | Δ (°C) | 450 - 650 |
טמפרטורת הפעלה מקסימלית | מעלות צלזיוס | 1200 |
התנגדות נפח | Ω·ס"מ | > 10 ^ 14 |
קבוע דיאלקטרי | - | 8.2 |
חוזק דיאלקטרי | קילו וולט/מ"מ | 16 |