מערכות מיסב אוויר גרניט נמצאות בשימוש נרחב בדיוק אולטרהפלטפורמות תנועה לייצור מוליכים למחצה, יישור אופטי ומטרולוגיה בקנה מידה ננומטרי.
מערכות אלו מבטלות מגע מכני באמצעות שכבת אוויר דקה בלחץ, ומשיגות תנועה כמעט ללא חיכוך.
עקרון מיסב האוויר
מיסבי אוויר פועלים על ידי החדרת אוויר דחוס בין שני משטחים, ויוצרים שכבת אוויר בעובי 2-20 מיקרון.
זה מבטל:
- חיכוך מכני
- לִלבּוֹשׁ
- התנהגות הידבקות-החלקה
המערכת מסתמכת על דינמיקת שכבת נוזלים וזרימה למינרית יציבה.
תפקידו של גרניט
גרניט מספקת:
- יציבות מבנית
- דיכוי סחיפה תרמית
- שיכוך רעידות
הוא משמש כבסיס הייחוס המכני למערכת התנועה.
רכיבי המערכת
- בסיס גרניט
- רפידות מיסב אוויר
- מערכת אספקת אוויר
- מקודדים מדויקים
- מערכת בקרת תנועה
מאפייני ביצועים
ביצועים אופייניים כוללים:
- דיוק מיקום תת-מיקרון
- ישרות גבוהה לאורך מהלך ארוך
- אפס תגובה מכנית
מקורות שגיאה עיקריים כוללים חוסר יציבות בלחץ האוויר, סחיפה תרמית ושגיאת מקודד.
יישומים
- בדיקת פרוסות מוליכים למחצה
- מערכות ליתוגרפיה
- פלטפורמות יישור אופטי
- מכונות מטרולוגיה מתקדמות
שאלות נפוצות
האם מיסבי אוויר נשחקים?
אין מגע מכני שימנע שחיקה.
למה להשתמש בגרניט?
ליציבות ובלימת רעידות.
מה מגביל את הדיוק?
יציבות אוויר והשפעות תרמיות.
האם הם יכולים לשאת משאות כבדים?
כן, תלוי בעיצוב.
זמן פרסום: 03 יולי 2026