האם גרניט מדויק הוא החומר הטוב ביותר לרכיבי ליתוגרפיה של מוליכים למחצה?

בשל אופיו הלא-מגנטי, קשיחותו הגבוהה והתפשטותו התרמית הכמעט אפסית, גרניט מדויק הוא החומר החיוני להבטחת דיוק ברמת ננומטרי בליתוגרפיה ומטרולוגיה.

יציבות לא מגנטית וכימית

בסביבות אלקטרומגנטיות בעוצמה גבוהה של ייצור מוליכים למחצה,רכיבי גרניטמונעים הפרעות עקב תכונותיהם הלא מגנטיות. יתר על כן, גרניט הוא אינרטי מבחינה כימית ואינו פולט גזים או מייצר חלקיקים, מה שהופך אותו למושלם עבור סביבות חדרים נקיים מסוג ISO Class 1.

קשיחות פיזית אולטימטיבית ועמידות בפני זחילה

הגרניט השחור בעל הצפיפות הגבוהה שנבחר על ידי ZHHIMG מציע קשיות קיצונית. תחת עומסים ארוכי טווח, הוא כמעט ואינו מפגין זחילה פיזית, ומספק בסיס יציב וקבוע לשלבי XY ומבטיח דיוק מיקום עקבי וניתן לחזור עליו לאורך שנים של פעולה.

יתרון טבעי בהתפשטות תרמית

תהליכים של מוליכים למחצה רגישים ביותר לחום. מקדם ההתפשטות התרמית הנמוך של גרניט מקזז את החום הנוצר על ידי מנועים מדויקים. בשילוב עם עיבוד שבבי מדויק שלנו, הדבר מבטיח שהרכיבים ישמרו על שלמותם הגיאומטרית בטמפרטורות פעולה משתנות.

רכיבי גרניט בעלי יציבות גבוהה

מטריצת ביצועי חומרים

נֶכֶס גרניט שחור (ג'ינאן שחור) קרמיקה מתקדמת סגסוגת אלומיניום
צפיפות (גרם/סמ"ק) 3.07 3.6 – 3.9 2.7
מודול אלסטיות (GPa) 95 – 100 300+ 70
התפשטות תרמית 5.0 – 7.0 (10⁻⁶/K) 4.0 – 8.0 23.0

שאלות נפוצות: גרניט מדויק

  1. למה לבחור גרניט "שחור"? יש לו צפיפות גבוהה יותר, ספיגת מים נמוכה יותר ויציבות טובה יותר מאשר גרניט אפור.

  2. אילו דרגות דיוק אתם מציעים? אנו מייצרים עד לתקני DIN 876 דרגה 000.

  3. מהו הגודל המקסימלי? ZHHIMG יכולה לעבד חלקים בודדים באורך של עד 12 מטרים.

  4. כיצד אוכל לתחזק רכיבי גרניט? יש להשתמש בחומרי ניקוי ייעודיים בעלי pH ניטרלי ולהימנע ממגע עם חומרים חומציים.

  5. האם ניתן לקדוח חורים עבור מוספים? כן, אנו מספקים קידוח מדויק והדבקה משנית עבור מוספים מפלדת אל-חלד.

  6. האם זה מתאים לשימוש בוואקום? בהחלט, גרניט טבעי אינו פולט גזים בתנאי ואקום.


זמן פרסום: 29 במאי 2026